半导体行业物流的AGV小车控制系统是指在物料离线流转过程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和软件系统，又包括信息自动化和物流设备自动化两个部分。信息自动化与工艺步骤的执行过程相关，包括制造执行系统（manufacturing execution system, MES）、信息通讯、工艺设备工作状态监测（用于工作程序和工艺过程管理）、物料识别和追踪等等。物流设备自动化通常和传统流水线，自动立体库，AGV小车等其他传送相关的执行器，包括如何将其运送到工艺设备端或者在不同的存储区域之间进行调度，以及晶片在工艺设备内部的传送（包括物料缓冲区，装载端口，晶片传送机械手臂等）。

从整个工厂的角度来看，许多设备内部的自动化晶片传送部件也可以被定义为信息自动化系统中设备控制和管理功能的一部分。除了WIP自动传送外，AGV传送自动化也是传送系统自动化的一项内容，它已成为现代化半导体工厂自动化系统中较大的单项投资项目。通过过去几年的经验显示信息自动化可以大大推动产品成品率的提高，因为信息自动化可以大大提高设备管理水平、进行工艺数据收集和统计工艺控制、保证物流控制更加顺利，同时还可以提高物料送达的准确率，从而减少误操作和返工现象。此外，信息自动化还可以改善WIP的直观监控，实现实时调度AGV及人员，提高生产速度。经验证明对物流信息自动化进行投资可以增加附加价值。

过去，物流自动化的作用在于保证工艺设备有事可做，维持足够的WIP流向下一道工序并且使WIP顺利地传送到下一区域，通常采用人工传送和存储WIP的运作模式。Intrabay更加复杂的传送和存储则通过操作工人按照信息自动化系统的指示来完成，从而在合适的时间将合适的WIP传送到合适的设备上。现在一部分半导体企业已经启用有提供的AGV物流系统自动化取代了操作工人的长距离搬送。

人工WIP处理已经被AGV自动化传送系统所取代，包括所有工艺设备之间的传送、存储和分发。AGV中控系统主要用于满足MES下一道工艺对加工物料的需求。此外，可以通过AGV控制软件对物料存储、管理和传送路线进行优化。现在的的AGV系统已经从上一代“下一道工艺步骤”响应系统发展到较大程度减少设备空闲时间、提高生产速度、缩短生产周期和实现生产目标的先进系统。